檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "鑽石薄膜".ckeyword (精準) and cdept.raw="電子工程系"
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本論文主要是探討製作不同間距之陣列式奈米鑽石薄膜元件於場發射特性之影響以及不同壓力在氮氣氣體感測特性之影響。本研究中係使用微波電漿化學氣相沉積系統將奈米鑽石薄膜沉積於矽基材上,藉由場發射電子顯微鏡觀…
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利用偏壓輔助微波電漿沉積系統沉積高導電性奈米鑽石薄膜,量測場發特性可得到非常好的turn on 電壓。氧化鋅有優良的紫外光感測,將超奈米鑽石和氧化鋅奈米柱可以提升其紫外光感測